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                • 射频电源
                • 射频匹配器
                • 微波电源
                • 高压电源
                • 高压盘
                • RPS
                • 臭氧发生器







                简介:
                射频电源是泛半导体设备中核心的部件,所提供的高频能量为设备生产工艺运行的关键要素。


                主技术规格:
                输出功率:0~1250W / 频率:13.56MHz / 整机效率:≥80% / 输出接头:N Type(f) /谐波:<-45dB / 杂散:<-50dB / 输出功率稳定度:±1% / 输出阻抗:50±2Ω


                应用领域:
                广泛应用于半导体工艺设备(刻蚀、CVD镀膜),显示面板、 LED与太阳能光伏行业、核磁共振激发,科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域









                简介:
                射频匹配器是泛半导体设备中核心的部件,将高频能量最大化地耦合给腔室为设备生产工艺运行的关键要素。


                主技术规格:
                输入功率:0~5000W / 频率:13.56MHz / 输入接头:7/16 Type (f) / 匹配时间:<2S


                应用领域:
                广泛应用于半导体工艺设备(刻蚀、CVD镀膜),显示面板、 LED与太阳能光伏行业、核磁共振激发,科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域










                简介:
                微波电源是半导体-ALD及光刻去除设备中核心的部件,所提供的高频能量为设备生产工艺运行的关键要素。


                主技术规格:
                电源供应器:输出功率值:300-8500W / 输出电流:1200mA / 输出电压:7.2~7.8kV
                磁控头:输出功率:700~6000W / 频率:2.45GHz / 输出连接器:WR340 / 输出稳定性:±1% 
                自动匹配器:根据腔体阻抗控制驻波比。


                应用领域:
                半导体-ALD镀膜工艺,光刻机去除工艺;人工钻石机台关键部件











                简介:
                升高电压至几万到几十万伏特,为特殊设备器件提供高压交直流电,以油作为主要绝缘手段,并依靠油作冷却介质。


                主技术规格:

                输出电压:0-300KV / 输出电流:10mA /纹波系数:≤0.5% 

                应用领域:

                半导体设备-离子注入;医疗设备-X光,CT机台关键部件;电力系统、束流焊、科研等领域












                简介:
                ag九游游戏中心苹果版,滤波将电压倍数提升后输出。替代已停产部件


                主技术规格:
                输出电压:0-DC 20KV / 输出电流: DC 100mA /输入电压: 双路对称互补交流10Kv(20KHz)


                应用领域:

                半导体设备-离子注入









                简介:

                ag九游游戏中心苹果版,等离子体与真空腔体之污染物进行化学反应并将其带出,AG九游会,进而降低腔体杂质污染


                主技术规格:

                频率:400KHz  功率:0-24KW


                应用领域:

                用于半导体厂芯片制造和液晶面板的生产,对真空腔体进行清洁,AG九游会








                简介:
                臭氧发生器是用于制取臭氧气体(O3)的装置,将氧气(O2)ag九游网官网,发生器通过电控信号产生高压将氧气进行电离分解得到臭氧


                主技术规格:

                电压:200-230V   电流:20A


                应用领域:
                臭氧发生器在饮用水,医药合成,工业氧化,半导体产业空间灭菌等领域广泛应用。在半导体产业中可用作于离子氧化清洗

                技术服务·电控及真空部件

                ag九游网官网始终秉持工匠精神,坚持技术创新研发
                电控部件技术服务
                真空部件技术服务
                人力技术服务

                实力品牌·4大优势

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                01.

                实力强大

                 · 拥有多年丰富半导体经验

                自主开发的专注配套技术服务测试平台和测试仪器。

                02.

                资源雄厚

                 · 多种可靠资源,专注产品研发

                资料库中累计技术材料超万余份,为产品研发提供源源不断的技术支持和市场资源。

                03.

                服务安心

                 · 专注客户需求,直达客户痛点

                深刻洞察客户需求,与设备使用者客户的粘性互动,时刻掌握客户需求信息。

                04.

                可靠团队

                 · 改革创新,研发团队实力可靠稳定

                多年业务形成技术经验沉淀,来自半导体发达地区中国台湾的团队。

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                上海ag九游网官网半导体股份有限公司成立于2005年,是“ag九游网官网”与“专精特新”企业。致力于可靠设备数字化健康管理解决方案,并提供可靠零部件, 积累了可靠的口碑。

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                技术服务、研发产品

                20

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