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                • 射频电源
                • 射频匹配器
                • 微波电源
                • 高压电源
                • 高压盘
                • RPS
                • 臭氧发生器







                简介:
                射频电源是泛半导体设备中核心的部件,所提供的高频能量为设备生产工艺运行的关键要素。


                主技术规格:
                输出功率:0~1250W / 频率:13.56MHz / 整机效率:≥80% / 输出接头:N Type(f) /谐波:<-45dB / 杂散:<-50dB / 输出功率稳定度:±1% / 输出阻抗:50±2Ω


                应用领域:
                广泛应用于半导体工艺设备(刻蚀、CVD镀膜),显示面板、 LED与太阳能光伏行业、AG九游会,科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域









                简介:
                射频匹配器是泛半导体设备中核心的部件,将高频能量最大化地耦合给腔室为设备生产工艺运行的关键要素。


                主技术规格:
                ag九游游戏中心苹果版:0~5000W / 频率:13.56MHz / 输入接头:7/16 Type (f) / 匹配时间:<2S


                应用领域:
                广泛应用于半导体工艺设备(刻蚀、CVD镀膜),显示面板、 LED与太阳能光伏行业、AG九游会,科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域










                简介:
                ag九游网官网-ALD及光刻去除设备中核心的部件,所提供的高频能量为设备生产工艺运行的关键要素。


                主技术规格:
                电源供应器:输出功率值:300-8500W / 输出电流:1200mA / 输出电压:7.2~7.8kV
                磁控头:输出功率:700~6000W / 频率:2.45GHz / 输出连接器:WR340 / 输出稳定性:±1% 
                自动匹配器:根据腔体阻抗控制驻波比。


                应用领域:
                半导体-ALD镀膜工艺,光刻机去除工艺;人工钻石机台关键部件











                简介:
                升高电压至几万到几十万伏特,为特殊设备器件提供高压交直流电,以油作为主要绝缘手段,并依靠油作冷却介质。


                主技术规格:

                输出电压:0-300KV / 输出电流:10mA /纹波系数:≤0.5% 

                应用领域:

                半导体设备-离子注入;医疗设备-X光,CT机台关键部件;电力系统、束流焊、科研等领域












                简介:
                高压盘是电通过倍压整流,滤波将电压倍数提升后输出。替代已停产部件


                主技术规格:
                输出电压:0-DC 20KV / 输出电流: DC 100mA /输入电压: 双路对称互补交流10Kv(20KHz)


                应用领域:

                半导体设备-离子注入









                简介:

                远程等离子源主要功能是将特定气体通过电信号的作用解离转换形成等离子体,等离子体与真空腔体之污染物进行化学反应并将其带出,进行真空腔体的清洁,进而降低腔体杂质污染


                主技术规格:

                频率:400KHz  功率:0-24KW


                应用领域:

                用于半导体厂芯片制造和液晶面板的生产,对真空腔体进行清洁,防止生产过程中残留的杂质污染腔体








                简介:
                臭氧发生器是用于制取臭氧气体(O3)的装置,将氧气(O2)通入到发生器中,发生器通过电控信号产生高压将氧气进行电离分解得到臭氧


                主技术规格:

                电压:200-230V   电流:20A


                应用领域:
                臭氧发生器在饮用水,医药合成,工业氧化,半导体产业空间灭菌等领域广泛应用。在半导体产业中可用作于离子氧化清洗

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                01.

                实力强大

                 · 拥有多年丰富半导体经验

                自主开发的专注配套技术服务测试平台和测试仪器。

                02.

                资源雄厚

                 · 多种可靠资源,专注产品研发

                资料库中累计技术材料超万余份,为产品研发提供源源不断的技术支持和市场资源。

                03.

                服务安心

                 · 专注客户需求,直达客户痛点

                深刻洞察客户需求,与设备使用者客户的粘性互动,时刻掌握客户需求信息。

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                可靠团队

                 · 改革创新,研发团队实力可靠稳定

                多年业务形成技术经验沉淀,来自半导体发达地区中国台湾的团队。

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                +

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                30

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                合作伙伴

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