简介:
射频电源是泛半导体设备中核心的部件，所提供的高频能量为设备生产工艺运行的关键要素。

主技术规格:
输出功率：0~1250W / 频率：13.56MHz / 整机效率：≥80% / 输出接头：N Type(f) /谐波：＜-45dB / 杂散：＜-50dB / 输出功率稳定度：±1% / 输出阻抗：50±2Ω

应用领域:
广泛应用于半导体工艺设备（刻蚀、CVD镀膜），显示面板、 LED与太阳能光伏行业、核磁共振激发，科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域

简介:
射频匹配器是泛半导体设备中核心的部件，将高频能量最大化地耦合给腔室为设备生产工艺运行的关键要素。

主技术规格:
输入功率：0~5000W / 频率：13.56MHz / 输入接头：7/16 Type (f) / 匹配时间：<2S

应用领域:
广泛应用于半导体工艺设备（刻蚀、CVD镀膜），显示面板、 LED与太阳能光伏行业、核磁共振激发，科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域

简介:
微波电源是半导体-ALD及光刻去除设备中核心的部件，所提供的高频能量为设备生产工艺运行的关键要素。

主技术规格:
电源供应器：输出功率值：300-8500W / 输出电流：1200mA / 输出电压：7.2~7.8kV
磁控头：输出功率：700~6000W / 频率：2.45GHz / 输出连接器：WR340 / 输出稳定性：±1% 
自动匹配器：根据腔体阻抗控制驻波比。

应用领域:
半导体-ALD镀膜工艺，光刻机去除工艺；人工钻石机台关键部件

简介:
升高电压至几万到几十万伏特，为特殊设备器件提供高压交直流电，以油作为主要绝缘手段，并依靠油作冷却介质。

主技术规格:

应用领域:

半导体设备-离子注入;医疗设备-X光，CT机台关键部件；电力系统、束流焊、科研等领域

简介:
ag九游游戏中心苹果版，滤波将电压倍数提升后输出。替代已停产部件

主技术规格:
输出电压：0-DC 20KV / 输出电流： DC 100mA /输入电压： 双路对称互补交流10Kv（20KHz）

应用领域:

半导体设备-离子注入

简介:

ag九游游戏中心苹果版，等离子体与真空腔体之污染物进行化学反应并将其带出，AG九游会，进而降低腔体杂质污染

主技术规格:

频率：400KHz  功率：0-24KW

应用领域:

用于半导体厂芯片制造和液晶面板的生产，对真空腔体进行清洁，AG九游会

简介:
臭氧发生器是用于制取臭氧气体（O3）的装置，将氧气（O2）ag九游网官网，发生器通过电控信号产生高压将氧气进行电离分解得到臭氧

主技术规格:

电压：200-230V   电流：20A

应用领域:
臭氧发生器在饮用水，医药合成，工业氧化，半导体产业空间灭菌等领域广泛应用。在半导体产业中可用作于离子氧化清洗